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波前曲率傳感器/壓電驅動微動平臺，裝配CCD相機，光束方向快速移動，臨近位置光束剖面/形貌分析，波前推導CCD像素級分辨，光束傳播參數(shù)分析（M2、瑞利長度、束腰直徑），Zernike分析畸變控制，采用自我參考法，無光束相干要求，緊湊式設計，在線檢測。
更新時間：2025-05-09
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